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高溫TMDs 沉積一體機(jī)

發(fā)布時間：2023-06-13  瀏覽次數(shù)：786

設(shè)備簡介：

該設(shè)備主要應(yīng)用于過渡金屬二硫化物材料制備。設(shè)備分兩個溫區(qū)，高溫區(qū)用于硫粉的蒸發(fā)，低溫區(qū)用于MoO3的蒸發(fā)及硫化物的沉積。適當(dāng)調(diào)整襯底和蒸發(fā)源的距離、蒸發(fā)溫區(qū)的溫度及進(jìn)氣流量，可得到大面積的單層二硫化物材料。

本設(shè)備仍可作為滿足實驗參數(shù)的常規(guī)CVD設(shè)備使用。

  


 

 

 

 


   

    技術(shù)參數(shù)： 

1.爐體與控制系統(tǒng)集成一體化，使試驗方便快捷直觀。
2.配置兩路質(zhì)量流量計混氣氣路，可以單獨設(shè)置氣體流量。
3.精確PID程序多段控制，實現(xiàn)不同工藝多段溫度時間監(jiān)控。
4.爐襯采用高純氧化鋁輕質(zhì)纖維材料，保溫效果極佳。
5.配備機(jī)械泵或分子真空泵，可以實現(xiàn)不同的真空條件。

爐體尺寸

1100mm×1250mm×750mm(寬×高×深）

剛玉管尺寸

Φ80*1000mm

主控升溫速率

建議≤10℃/min

使用溫度

1200℃以下可長期使用

控溫精度

±1℃

最高溫度

1100℃

加熱元件

高溫合金絲

加熱功率

5KW

主控爐膛材料

高純多晶纖維復(fù)合耐火保溫層

主控爐膛模式

開啟式

密封方式

不銹鋼密封法蘭

測溫元件

K型熱電偶

加熱溫區(qū)長度

雙溫 210mm*2    

操控模式

NBD-101E嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面，7英寸真彩觸屏輸入，智能式人機(jī)對話模式；

溫度曲線設(shè)置

主加熱可預(yù)存15條溫度曲線，每條曲線可設(shè)置30段"時間—溫度曲線"，實時監(jiān)控，動態(tài)真實顯示“時間-溫度曲線”

溫度校正

主控控溫溫度和試樣溫度的差值，系統(tǒng)全程進(jìn)行非線性修正（詢問客戶常用溫度點，做特別效驗）

真空泵類型

直聯(lián)旋片式真空泵（雙級旋片）

抽氣速率

4(L/s)

進(jìn)排氣連接口

KF16/25（mm）

用油量

0.6～1L

電機(jī)轉(zhuǎn)速

1440（rpm）

工作環(huán)境溫度

5～40℃

噪音（dB）

≤56

真空計類型

數(shù)顯真空計

系統(tǒng)真空

3~5pa （另選配分子泵可達(dá)6.3*10-3pa）

流量計類型

2路質(zhì)量流量控制器 300SCCM,500SCCM, 可根據(jù)客戶需求選擇流量范圍

氣路管芯

專用不銹鋼氣體管道（1/4"）

調(diào)節(jié)閥類型

手動調(diào)節(jié)閥

管道常態(tài)

常閉

測量精度

±1.0%F.S

精度保證溫度

15～35℃

系統(tǒng)保護(hù)

超溫報警，過流保護(hù)，斷偶提示

電氣規(guī)格

220V 50Hz 5KW

隨機(jī)產(chǎn)品配置

石英爐管1根 ，爐塞1套 ，爐鉤一只，說明書1份;隨機(jī)工具等。

服務(wù)項目

運輸及保險費，包裝費,安裝及技術(shù)服務(wù)費； 提供12個月質(zhì)保，觸控系統(tǒng)24個月，終身保修。

控制系統(tǒng)

1、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置：動態(tài)顯示設(shè)置曲線，設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設(shè)置；
2、可預(yù)約燒結(jié)，實現(xiàn)無人值守?zé)Y(jié)工藝曲線燒結(jié)；
3、實時顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù)，并可導(dǎo)出實現(xiàn)無紙記錄；
4、具有實現(xiàn)遠(yuǎn)程操控，實時觀測設(shè)備狀態(tài)；
5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結(jié)全程進(jìn)行非線性修正。

* 支持非標(biāo)定做，更多型號，歡迎來電垂詢400-000-3746

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