發(fā)布時(shí)間:2023-06-09 瀏覽次數(shù):874
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設(shè)備簡(jiǎn)介: 化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面 反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法,是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng) 用非常廣泛的用來(lái)沉積薄膜材料的技術(shù),包括大范圍 的絕緣材料,以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。 為此我們研發(fā)成套的CVD鍍膜系統(tǒng),適用于各大高校 材料實(shí)驗(yàn)室、科研院所、環(huán)??茖W(xué)等領(lǐng)域。
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高溫旋轉(zhuǎn)擺振cvd系統(tǒng)由以下幾部分組成。
▲燒結(jié)系統(tǒng);▲電控系統(tǒng);▲真空系統(tǒng);▲旋轉(zhuǎn)系統(tǒng);▲擺振系統(tǒng)
配置詳情
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設(shè)備特點(diǎn): 1、低真空、高真空、氣氛燒結(jié)均可。 2、控制穩(wěn)定可靠,操作方便,安全防護(hù)措施完善。 3、采用先進(jìn)的PID自學(xué)習(xí)模糊控制,控溫精度高,保持在±1℃。 4、高低溫區(qū)采用物理隔離,可分別設(shè)置工藝曲線。 5、兼具旋轉(zhuǎn)擺振功能,可更好滿足客戶需求。 6、爐襯采用高純氧化鋁輕質(zhì)纖維材料,保溫效果更好,節(jié)能降耗。 7、具有物聯(lián)網(wǎng)功能(WIFI),可通過(guò)手機(jī)、電腦遠(yuǎn)程對(duì)設(shè)備進(jìn)行監(jiān)控,操作。 8、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能,可保存燒結(jié)的重要參數(shù),時(shí)長(zhǎng)達(dá)30天之久(每天開機(jī)8小時(shí))。 9、配方功能,可預(yù)存配方100條以上。 10、多重防呆功能,讓客戶使用起來(lái)更加安全。 11、聯(lián)網(wǎng)功能,通過(guò)RJ45接口,采用TCP/IP協(xié)議,可以讓系統(tǒng)與上位機(jī)相連(上位機(jī)需安裝相應(yīng)軟件)。
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產(chǎn)品型號(hào) |
NBD-RT1700-120T2DY |
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供電電源 |
三相380V 50HZ |
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額定功率 |
15KW |
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測(cè)溫元件類型 |
B型熱電偶 150mm |
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低溫區(qū)最高溫度 |
1400℃ |
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高溫區(qū)最高溫度 |
1600℃ |
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加熱溫區(qū)尺寸 |
長(zhǎng)660×深220×高160mm |
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爐體尺寸 |
長(zhǎng)1200mm×高1260mm(不含點(diǎn)火器)×深760mm |
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最高真空度 |
1*10-1Pa |
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最大擺動(dòng)角度 |
-18° |
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最小擺動(dòng)角度 |
4° | ||||||
爐管最大轉(zhuǎn)速 |
14r/min |
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爐體尺寸 |
長(zhǎng)2650×深1050×高1450mm |
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推薦升溫速率 |
5℃/min(剛玉管不宜急冷急熱) |
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設(shè)備細(xì)節(jié) |
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控制系統(tǒng) |
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1. NBD-101PE嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面,7寸真彩觸屏輸入,智能式人機(jī)對(duì)話模式; 2. 帶壓力保護(hù)控制, 3. 燒結(jié)工藝曲線設(shè)置:動(dòng)態(tài)顯示設(shè)置曲線,設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線,每條工藝曲線可自由設(shè)置; 4. 可預(yù)約燒結(jié),實(shí)現(xiàn)無(wú)人值守?zé)Y(jié)工藝曲線燒結(jié); 5. 實(shí)時(shí)顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù),并可導(dǎo)出實(shí)現(xiàn)無(wú)紙記錄; 6. 具有實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程操控,實(shí)時(shí)觀測(cè)設(shè)備狀態(tài); 7. 溫度校正:主控溫度和試樣溫度的差值,燒結(jié)全程進(jìn)行非線性修正; 預(yù)留留485接口支持MODBUS協(xié)議,客戶可遠(yuǎn)程實(shí)現(xiàn)電腦采集燒成溫度; |
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溫度精度 |
±1℃ |
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流程控制畫面 |
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重量 |
約600KG |
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服務(wù)支持 |
1年質(zhì)保,提供終身支持(保修范圍內(nèi)不包括易耗部件,例如爐管和O形圈等) |
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