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高溫旋轉(zhuǎn)擺振CVD系統(tǒng)

發(fā)布時(shí)間:2023-06-09  瀏覽次數(shù):874

設(shè)備簡(jiǎn)介:

化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面

反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法,是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)

用非常廣泛的用來(lái)沉積薄膜材料的技術(shù),包括大范圍

的絕緣材料,以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。

為此我們研發(fā)成套的CVD鍍膜系統(tǒng),適用于各大高校

材料實(shí)驗(yàn)室、科研院所、環(huán)??茖W(xué)等領(lǐng)域。



  


           

高溫旋轉(zhuǎn)擺振cvd系統(tǒng)由以下幾部分組成。
▲燒結(jié)系統(tǒng);▲電控系統(tǒng);▲真空系統(tǒng);▲旋轉(zhuǎn)系統(tǒng);▲擺振系統(tǒng)


配置詳情

設(shè)備特點(diǎn):

1、低真空、高真空、氣氛燒結(jié)均可。

2、控制穩(wěn)定可靠,操作方便,安全防護(hù)措施完善。

3、采用先進(jìn)的PID自學(xué)習(xí)模糊控制,控溫精度高,保持在±1℃。

4、高低溫區(qū)采用物理隔離,可分別設(shè)置工藝曲線。

5、兼具旋轉(zhuǎn)擺振功能,可更好滿足客戶需求。

6、爐襯采用高純氧化鋁輕質(zhì)纖維材料,保溫效果更好,節(jié)能降耗。

7、具有物聯(lián)網(wǎng)功能(WIFI),可通過(guò)手機(jī)、電腦遠(yuǎn)程對(duì)設(shè)備進(jìn)行監(jiān)控,操作。

8、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能,可保存燒結(jié)的重要參數(shù),時(shí)長(zhǎng)達(dá)30天之久(每天開機(jī)8小時(shí))。

9、配方功能,可預(yù)存配方100條以上。

10、多重防呆功能,讓客戶使用起來(lái)更加安全。

11、聯(lián)網(wǎng)功能,通過(guò)RJ45接口,采用TCP/IP協(xié)議,可以讓系統(tǒng)與上位機(jī)相連(上位機(jī)需安裝相應(yīng)軟件)。

產(chǎn)品型號(hào)

NBD-RT1700-120T2DY

供電電源

三相380V 50HZ

額定功率

15KW

測(cè)溫元件類型

B型熱電偶 150mm

低溫區(qū)最高溫度

1400℃

高溫區(qū)最高溫度

1600℃

加熱溫區(qū)尺寸

長(zhǎng)660×深220×高160mm

爐體尺寸

長(zhǎng)1200mm×高1260mm(不含點(diǎn)火器)×深760mm

最高真空度

1*10-1Pa

最大擺動(dòng)角度

-18°

最小擺動(dòng)角度

4°

爐管最大轉(zhuǎn)速

14r/min

爐體尺寸

長(zhǎng)2650×深1050×高1450mm

推薦升溫速率

5℃/min(剛玉管不宜急冷急熱)

設(shè)備細(xì)節(jié)

       

控制系統(tǒng)

 

1. NBD-101PE嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面,7寸真彩觸屏輸入,智能式人機(jī)對(duì)話模式;

2. 帶壓力保護(hù)控制,

3. 燒結(jié)工藝曲線設(shè)置:動(dòng)態(tài)顯示設(shè)置曲線,設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線,每條工藝曲線可自由設(shè)置;

4. 可預(yù)約燒結(jié),實(shí)現(xiàn)無(wú)人值守?zé)Y(jié)工藝曲線燒結(jié);

5. 實(shí)時(shí)顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù),并可導(dǎo)出實(shí)現(xiàn)無(wú)紙記錄;

6. 具有實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程操控,實(shí)時(shí)觀測(cè)設(shè)備狀態(tài);

7. 溫度校正:主控溫度和試樣溫度的差值,燒結(jié)全程進(jìn)行非線性修正;

預(yù)留留485接口支持MODBUS協(xié)議,客戶可遠(yuǎn)程實(shí)現(xiàn)電腦采集燒成溫度;

溫度精度

±1℃

流程控制畫面


重量

600KG

服務(wù)支持

1年質(zhì)保,提供終身支持(保修范圍內(nèi)不包括易耗部件,例如爐管和O形圈等) 


免責(zé)聲明:本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等),僅供參考??赡苡捎诟虏患皶r(shí),或許導(dǎo)致所述內(nèi)容與實(shí)際情況存在一定的差異,請(qǐng)與本公司客服人員聯(lián)系確認(rèn)。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾,諾巴迪公司不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息,恕不另行通知。



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