發(fā)布時間:2022-10-29 瀏覽次數(shù):1122
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設(shè)備簡介: 化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法,是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用最為廣泛的用來沉積薄膜材料的技術(shù),包括大范圍的絕緣材料,以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。為此我們研發(fā)成套的CVD鍍膜系統(tǒng),適用于各大高校材料實驗室、科研院所、環(huán)??茖W(xué)等領(lǐng)域; 本設(shè)備基于新能源領(lǐng)域客戶需求定制,反應(yīng)氣體包括易燃易爆及有毒有害氣體,及通過氣相發(fā)生器氣化的液體。多路質(zhì)量流量計精確控制進氣量。高精度壓力傳感器、電磁閥、氣體檢測儀、報警器及尾氣處理罐,確保工作過程的安全、高效及無害化排放。
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技術(shù)參數(shù):
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1.通過高精度氧分析儀確保無氧工作環(huán)境; 2.物料在基于旋轉(zhuǎn)擺振結(jié)構(gòu)的異形石英腔內(nèi),能夠在穩(wěn)定均勻的溫場內(nèi),最大程度地與反應(yīng)氣體充分接觸; 3.獨有懸掛式氣相發(fā)生器,能夠在工作腔擺振的同時,始終保持水平穩(wěn)定輸出; 4.多路質(zhì)量流量控制器,可精確控制氣體流量; 5.高密封性連接工藝,確保可燃性氣體及有毒有害氣體無任何泄露,高靈敏度壓力傳感器及電磁閥可保證工作腔室內(nèi)的壓力始終在設(shè)定范圍; 6.易燃易爆及有毒有害氣體檢測儀與設(shè)備聯(lián)動,可及時獲取實時數(shù)據(jù)并采取相應(yīng)閉合措施,同時,兩個報警儀在超出設(shè)定警戒值時發(fā)出預(yù)警提示; 7.工作腔室排出的尾氣通過尾氣處理罐進行無害化處理。 |
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產(chǎn)品型號 |
NBD-RT1200-120T2D5ZYW-N |
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供電電源 |
三相380V 50HZ |
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控溫精度 |
±1℃ |
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額定功率 | 8KW | ||||||||
測溫元件類型 |
K型熱電偶 250mm |
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最高溫度 |
1100℃ |
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加熱溫區(qū)尺寸 |
φ150*430mm |
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爐管材質(zhì) |
高純石英 |
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爐管容積 |
5L |
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樣品有效容積 |
500ml |
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傾斜角度 |
-20度(出料)~3度(進料) |
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爐管轉(zhuǎn)速 |
0.1~12.6轉(zhuǎn)/每分鐘 |
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爐體尺寸 |
長1550×深830×高1360mm(含乙炔報警器2160mm) |
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推薦升溫速率 |
10℃/min |
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重量 |
約260KG |
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控制系統(tǒng) |
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1、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置:動態(tài)顯示設(shè)置曲線,設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線,每條工藝曲線可自由設(shè)置; |
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