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液氣CVD一體機

發(fā)布時間:2022-10-29  瀏覽次數(shù):1122


設(shè)備簡介:

化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或米材料的方法,是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用最為廣泛的用來沉積薄膜材料的技術(shù),包括大范圍的絕緣材料,以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。為此我們研發(fā)成套的CVD鍍膜系統(tǒng),適用于各大高校材料實驗室、科研院所、環(huán)??茖W(xué)等領(lǐng)域;

本設(shè)備基于新能源領(lǐng)域客戶需求定制,反應(yīng)氣體包括易燃易爆及有毒有害氣體,及通過氣相發(fā)生器氣化的液體。多路質(zhì)量流量計精確控制進氣量。高精度壓力傳感器、電磁閥、氣體檢測儀、報警器及尾氣處理罐,確保工作過程的安全、高效及無害化排放。


 

 

 

 

   

    技術(shù)參數(shù): 

1.通過高精度氧分析儀確保無氧工作環(huán)境;

2.物料在基于旋轉(zhuǎn)擺振結(jié)構(gòu)的異形石英腔內(nèi),能夠在穩(wěn)定均勻的溫場內(nèi),最大程度地與反應(yīng)氣體充分接觸;

3.獨有懸掛式氣相發(fā)生器,能夠在工作腔擺振的同時,始終保持水平穩(wěn)定輸出;

4.多路質(zhì)量流量控制器,可精確控制氣體流量;

5.高密封性連接工藝,確保可燃性氣體及有毒有害氣體無任何泄露,高靈敏度壓力傳感器及電磁閥可保證工作腔室內(nèi)的壓力始終在設(shè)定范圍;

6.易燃易爆及有毒有害氣體檢測儀與設(shè)備聯(lián)動,可及時獲取實時數(shù)據(jù)并采取相應(yīng)閉合措施,同時,兩個報警儀在超出設(shè)定警戒值時發(fā)出預(yù)警提示;

7.工作腔室排出的尾氣通過尾氣處理罐進行無害化處理。

產(chǎn)品型號

NBD-RT1200-120T2D5ZYW-N

供電電源

三相380V 50HZ

控溫精度

±1℃

額定功率 8KW
測溫元件類型

K型熱電偶 250mm

最高溫度

1100℃

加熱溫區(qū)尺寸

φ150*430mm

爐管材質(zhì)

高純石英

爐管容積

5L

樣品有效容積

500ml

傾斜角度

-20度(出料)~3度(進料)

爐管轉(zhuǎn)速

0.1~12.6轉(zhuǎn)/每分鐘

爐體尺寸

長1550×深830×高1360mm(含乙炔報警器2160mm

推薦升溫速率

10℃/min

重量

約260KG

控制系統(tǒng)

1、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置:動態(tài)顯示設(shè)置曲線,設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線,每條工藝曲線可自由設(shè)置;
2、可預(yù)約燒結(jié),實現(xiàn)無人值守?zé)Y(jié)工藝曲線燒結(jié);
3、實時顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù),并可導(dǎo)出實現(xiàn)無紙記錄;
4、具有實現(xiàn)遠程操控,實時觀測設(shè)備狀態(tài);
5、溫度校正:主控溫度和試樣溫度的差值,燒結(jié)全程進行非線性修正
。

* 支持非標(biāo)定做,更多型號,歡迎來電垂詢400-000-3746

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