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高溫高真空CVD一體機(jī)

發(fā)布時間：2022-08-16  瀏覽次數(shù)：2145

設(shè)備簡介：

NBD-CVD系列高溫爐整體采用國際先進(jìn)制造工藝，并且從美學(xué)藝術(shù)角度出發(fā)，根據(jù)人體安全的角度進(jìn)行設(shè)計。

控制數(shù)學(xué)模型采用先進(jìn)的PID自學(xué)習(xí)模糊控制，使控溫精度保持在±1℃。經(jīng)過長期多次的各種試樣實(shí)驗驗證，幾乎可以適用于所有類型材料的焙燒。


  

 

 

 

 

 

 


技術(shù)參數(shù)： 

  設(shè)備設(shè)備采用15.6英寸大尺寸全觸屏智能人機(jī)交互系統(tǒng)，高真空分子泵機(jī)組，新一代無油渦旋真空泵作為前級泵，以及高精度氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)樣品在高精度氣體控制、高溫（Tmax：1650℃）條件下的智能化操作。

產(chǎn)品型號

NBD-T1700-80T22G3Z

最高溫度

1700℃

額定溫度
 1650℃

控溫精度

±1℃

觸摸屏尺寸

15.6英寸

額定功率 10KW

傳感器類型

B型

推薦升溫速率

≤10/min

爐管尺寸
 ?80*1200mm 
極限真空度

6×10-4Pa

爐體外形凈尺寸
 長1690×高1410×深765mm

 無油渦旋式干式真空泵  （前級泵，具有結(jié)構(gòu)簡單，密封性能好，極限真空高等優(yōu)點(diǎn)。在應(yīng)用方面具有運(yùn)行成本低、工作壽命長、可靠性高、噪音低等顯著特點(diǎn)，在無油清潔應(yīng)用領(lǐng)域有著不可比擬的優(yōu)勢。）


     控制系統(tǒng)     


1、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置：動態(tài)顯示設(shè)置曲線，設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設(shè)置；
2、可預(yù)約燒結(jié)，實(shí)現(xiàn)無人值守?zé)Y(jié)工藝曲線燒結(jié)；
3、實(shí)時顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù)，并可導(dǎo)出實(shí)現(xiàn)無紙記錄；
4、具有實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程操控，實(shí)時觀測設(shè)備狀態(tài)；
5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結(jié)全程進(jìn)行非線性修正。

氣體系統(tǒng)（可選購）

流量計類型

浮子流量計

質(zhì)量流量計

管道示意圖

 

 

進(jìn)氣接口數(shù)量

2、3、4（多路可選）

流量范圍

20-200/60-600l/min(多量程可選)

50/100/200sccm(多量程可選)

工作壓差范圍

0-0.15MPa

低真空系統(tǒng)（可選購）

真空泵型號

NBD-1.5C

NBD-3C

NBD-4C

抽氣速率

1L/s

3L/s

4L/s

進(jìn)排氣口尺寸

Φ8mm寶塔接頭

Φ8mm寶塔接頭

KF16/25

極限壓力

1000Pa

100Pa

10Pa

工作溫度

5-40℃

電氣規(guī)格

AC220V

分子泵高真空系統(tǒng)

（可選購）

分子泵系統(tǒng)型號

NBD-103(A)

NBD-103(B)

NBD-103(C)

抽氣速率

110L/s

600L/s

700L/s

真空測量計

復(fù)合真空計

極限壓力

10^-3Pa

10^-4Pa

10^-5Pa

工作溫度

5-40℃

電氣規(guī)格

AC 220V

AC 220V

AC 380V

* 支持非標(biāo)定做，更多型號，歡迎來電垂詢400-000-3746

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