主要特點(diǎn)：

1. 清洗鍍膜一氣呵成，杜絕二次污染；
2. 上開(kāi)啟式結(jié)構(gòu)，方便觀察試樣；
3. 產(chǎn)品采用全自動(dòng)控制方式，觸摸屏，數(shù)字化顯示；
4. 可通過(guò)爐體滑動(dòng)來(lái)達(dá)到快速升溫和快速降溫的效果；
5. 穩(wěn)定的射頻電源，均勻的溫度分布，提高成膜質(zhì)量；

產(chǎn)品型號(hào)

NBD-PECVD1200-50T2-N

電氣規(guī)格

AC220V 3KW   射頻功率：300或500瓦 13.56Mhz

1200 ℃ （<1小時(shí)）

連續(xù)溫度

1100 ℃ （連續(xù)）

可達(dá)加熱速率

≤20 ℃/分鐘

加熱區(qū)長(zhǎng)度

200mm+200mm（兩個(gè)加熱溫區(qū)分別加熱，分體式設(shè)計(jì)使溫度梯度可以達(dá)到極限）

爐管尺寸

Φ50*1800mm

射頻線圈

采用多節(jié)點(diǎn)鍍銀的水冷銅線圈，可匹配不同頻率的射頻電源 

1、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置：動(dòng)態(tài)顯示設(shè)置曲線，設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設(shè)置；
2、可預(yù)約燒結(jié)，實(shí)現(xiàn)無(wú)人值守?zé)Y(jié)工藝曲線燒結(jié)；
3、實(shí)時(shí)顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù)，并可導(dǎo)出實(shí)現(xiàn)無(wú)紙記錄；
4、具有實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程操控，實(shí)時(shí)觀測(cè)設(shè)備狀態(tài)；
5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結(jié)全程進(jìn)行非線性修正

+/- 1 ℃

加熱元件

Mo摻雜的Fe-Cr-Al合金

真空度：≤10Pa（機(jī)械泵），達(dá)到啟輝條件。

壓力測(cè)量與監(jiān)控

100KG

設(shè)備使用注意事項(xiàng)

1.設(shè)備爐膛溫度≥300℃時(shí)，禁止打開(kāi)爐膛，避免受到傷害；

2.設(shè)備使用時(shí)，爐管內(nèi)壓力不得超過(guò)0.125MPa（絕對(duì)壓力），以防止壓力過(guò)大沖開(kāi)密封法蘭；

服務(wù)支持

一年有限保修，提供終身支持；