發(fā)布時間:2020-04-11 瀏覽次數(shù):3004
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該射頻電源匹配器小巧、輕便,擁有空冷式設計。高質(zhì)量的組件和較少的零件數(shù)量使可靠性和產(chǎn)品使用壽命均得以提升,從而使您的投資和制程生產(chǎn)力得到有效的利用。一個直觀、快捷的操作菜單(可在該組件的多功能前面板上切換,并顯示在一個128 x 64像素的液晶顯示屏上)帶來了無比的便利性——提高了操作人員的效率,并使培訓成本很低。此款設備配置13.56MHz的射頻輸出,可匹配普通型管式爐做等離子體增強型化學氣相沉積(PECVD)使用,是實驗室做PECVD鍍膜的理想選擇。
基本參數(shù)
名稱 |
功率范圍 |
工作頻率 |
功率穩(wěn)定度 |
反射功率 |
保護設置 |
冷卻方式 |
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等離子體發(fā)生器 |
0-500W連續(xù)可調(diào) |
13.56MHz |
≤2W |
70W |
DC過流保護,功放過溫保護,反射功率保護 |
強制風冷 |
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* 此設備可與管式爐進行匹配定制 |
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