發(fā)布時(shí)間:2020-07-01 瀏覽次數(shù):2891
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設(shè)備簡介: 多溫區(qū)CVD系統(tǒng)一體爐,供氣和真空系統(tǒng)靈活組合,滿足各類薄膜沉積,在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用非常廣泛。包括沉積大面積的絕緣材料,以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。諾巴迪成套的CVD鍍膜系統(tǒng),適用于各大高校材料實(shí)驗(yàn)室、科研院所、環(huán)??茖W(xué)等領(lǐng)域。
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1.采用高純石英或不銹鋼材質(zhì)爐管,耐腐蝕耐高溫性能優(yōu)越; 2.高純度Al2O3纖維耐火保溫材料,保溫效果優(yōu)越,降低設(shè)備功耗; 3.爐體采用雙層風(fēng)冷結(jié)構(gòu)工藝,自動(dòng)抬升系統(tǒng)開啟上蓋; 4.NBD-101EP嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面,7寸真彩觸屏輸入,智能式人機(jī)對話模式,實(shí)時(shí)加熱功率顯示,非線性式樣溫度修正;實(shí)驗(yàn)報(bào)告自主生成,實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)無限次導(dǎo)出。 5.一體化設(shè)備包含多路供氣系統(tǒng),多溫區(qū)加熱系統(tǒng)和高真空系統(tǒng); |
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產(chǎn)品型號 |
三溫區(qū) |
四溫區(qū) |
五溫區(qū) |
六溫區(qū) |
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爐管尺寸 |
?25/?50/?60/?80/?100*1600mm |
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工作溫度 |
≤1150℃ |
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加熱區(qū)選擇 (可定制) |
200mm*3 200+300+200mm 200+400+200mm 300mm*3 300+400+300mm |
200mm*4 200+300+300+200mm 200+400+400+200mm 300mm*4 300+400+400+300mm |
200mm*5 300mm*5
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200mm*6 300mm*6
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升溫速率 |
≤20℃/min |
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電氣規(guī)格 |
AC380V 6~10KW |
AC380V 8~14KW |
AC380V 10~15KW |
AC380V 12~18KW |
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氣體系統(tǒng)(可選購) |
浮子或質(zhì)量流量計(jì)(MFC) |
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管道示意圖 |
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進(jìn)氣接口數(shù)量 |
2、3、4(多路可選) |
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流量范圍 |
20-250/20-800ml/min......(多量程可選) 50/100/200/500sccm......(多量程可選) |
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工作壓差范圍 |
0-0.15MPa |
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低真空系統(tǒng)(可選購) |
真空泵型號 |
NBD-3C/NBD-4C |
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抽氣速率 |
3L/s或4L/s |
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進(jìn)排氣口尺寸 |
KF16/25 |
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系統(tǒng)真空 |
3~5Pa(真空泵極限真空6.2*10-2Pa) |
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工作環(huán)境溫度 |
5-40℃ |
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電氣規(guī)格 |
AC220V |
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高真空系統(tǒng)(可選購) |
真空泵型號 |
NBD-103(A) |
NBD-103(B) |
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抽氣速率 |
110L/s |
600L/s |
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真空測量計(jì) |
復(fù)合真空計(jì) |
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系統(tǒng)真空 |
4.310^-3Pa |
6*10^-4Pa |
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工作溫度 |
5-40℃ |
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電氣規(guī)格 |
AC 220V |
AC 380V |
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* 支持非標(biāo)定做,更多型號,歡迎來電垂詢400-000-3746 |
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