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CVD系統(tǒng)O1200-MINI-G3Z

發(fā)布時間:2018-11-27  瀏覽次數(shù):3765

設(shè)備簡介:

化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法,是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用非常廣泛的用來沉積薄膜材料的技術(shù),包括大范圍的絕緣材料,以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。為此我們研發(fā)成套的CVD鍍膜系統(tǒng),適用于各大高校材料實驗室、科研院所、環(huán)保科學(xué)等領(lǐng)域。





                



 

 

 

 

 



配置詳情

NBD-101E嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面,7寸真彩觸屏輸入,智能式人機對話模式,非線性式樣溫度修正;


產(chǎn)品型號

O1200-MINI-G3Z

達(dá)到溫度

≤1150℃

加熱區(qū)尺寸

200mm

升溫速率

≤20℃/min

電氣規(guī)格

AC220V  1.2KW

氣體系統(tǒng)(可選購)

流量計類型

浮子流量計

質(zhì)量流量計

管道示意圖

 

 

進(jìn)氣接口數(shù)量

2、3、4(多路可選)

流量范圍

20-250/20-800ml/min(多量程可選)

50/100/200sccm(多量程可選)

工作壓差范圍

0-0.15MPa

低真空系統(tǒng)(可選購)

真空泵型號

NBD-1.5C

NBD-3C

NBD-4C

抽氣速率

1L/s

3L/s

4L/s

進(jìn)排氣口尺寸

Φ8mm寶塔接頭

Φ8mm寶塔接頭

KF16/25

極限壓力

1000Pa

100Pa

10Pa

工作溫度

5-40℃

電氣規(guī)格

AC220V

高真空系統(tǒng)(可選購)

真空泵型號

NBD-103(A)

NBD-103(B)

NBD-103(C)

抽氣速率

110L/s

600L/s

700L/s

真空測量計

復(fù)合真空計

極限壓力

10^-3Pa

10^-4Pa

10^-5Pa

工作溫度

5-40℃

電氣規(guī)格

AC 220V

AC 220V

AC 380V

* 支持非標(biāo)定做,更多型號,歡迎來電垂詢400-000-3746


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