設(shè)備簡(jiǎn)介： 化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法，是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用非常廣泛的用來(lái)沉積薄膜材料的技術(shù)，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。為此我們研發(fā)成套的CVD鍍膜系統(tǒng)，適用于各大高校材料實(shí)驗(yàn)室、科研院所、環(huán)?？茖W(xué)等領(lǐng)域；

配置詳情

NBD-101E嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入，智能式人機(jī)對(duì)話模式，非線性式樣溫度修正；

產(chǎn)品型號(hào)

CVDT1700-50TIG2Z

CVD T1700-60TIG2Z

CVD T1700-80TIG2Z

爐管尺寸

Φ50*1000mm

Φ60*1000mm

Φ80*1000mm

工作溫度

≤1650℃

加熱區(qū)尺寸

310mm

升溫速率

≤20℃/min

電氣規(guī)格

AC 220V  4.5KW

氣體系統(tǒng)（可選購(gòu)）

流量計(jì)類型

浮子流量計(jì)

質(zhì)量流量計(jì)

管道示意圖

進(jìn)氣接口數(shù)量

2、3、4（多路可選）

流量范圍

20-250/20-800ml/min(多量程可選)

50/100/200sccm(多量程可選)

工作壓差范圍

0-0.15MPa

低真空系統(tǒng)（可選購(gòu)）

真空泵型號(hào)

NBD-1.5C

NBD-3C

NBD-4C

抽氣速率

1L/s

3L/s

4L/s

進(jìn)排氣口尺寸

Φ8mm寶塔接頭

Φ8mm寶塔接頭

KF16/25

極限壓力

1000Pa

100Pa

10Pa

工作溫度

5-40℃

電氣規(guī)格

AC220V

高真空系統(tǒng)（可選購(gòu)）

真空泵型號(hào)

NBD-103(A)

NBD-103(B)

NBD-103(C)

抽氣速率

110L/s

600L/s

700L/s

真空測(cè)量計(jì)

復(fù)合真空計(jì)

極限壓力

10^-3Pa

10^-4Pa

10^-5Pa

工作溫度

5-40℃

電氣規(guī)格

AC 220V

AC 220V

AC 380V

* 支持非標(biāo)定做，更多型號(hào)，歡迎來(lái)電垂詢400-000-3746