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離子濺射鍍膜儀

發(fā)布時間:2017-11-16  瀏覽次數(shù):4671

NBD-LJ10專為掃描電鏡制作樣品而設(shè)計,具有結(jié)構(gòu)簡單、使用方便等特點。它不需要很 高的真空度就可以對掃描電鏡樣品進(jìn)行離子濺射,因此它可以作為掃描電鏡樣品鍍膜的基本設(shè)備。

主要特點

1.采用4C靜音真空泵,各方面降噪,提升實驗感受;

2.標(biāo)配樣品室真空表和濺射電流表,實時顯示和監(jiān)控儀器狀態(tài);

3.邊緣橡膠密封圈,長期使用不會出現(xiàn)影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊”現(xiàn)象。

4.配置濺射電流控制器和微型真空氣閥。結(jié)合自動控制電路,輕松控制真空室壓強(qiáng)、電離電流,并可任意選擇所需電離氣體,以獲得很好的鍍膜效果;

5.標(biāo)配Φ58mm x 0.12mm 大尺寸純金靶,濺射范圍更大;


技術(shù)參數(shù)

1、真空腔體:Φ125(113)*126mm  ;

2、試樣臺尺寸:Φ40nn;

3樣品臺可調(diào)高度:65mm;     

4、金靶尺寸:Φ58*0.12mm;

5、真空檢測:皮氏真空計;

6、真空保護(hù):20Pa配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空;

7、工作室工作媒介氣體:空氣或氬氣,配有氬氣專用進(jìn)氣口和微量充氣調(diào)節(jié) ;

8、濺射材質(zhì):鐵、鈷、鉺;

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