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祝賀東莞市人民醫(yī)院定制PECVD順利交付使用

發(fā)布時間：2023-03-28  瀏覽次數(shù)：2536

2023年3月27日，我司為東莞市人民醫(yī)院（南方醫(yī)科大學(xué)附屬醫(yī)院）定制的智能PECVD系統(tǒng)順利交付使用。

PECVD(等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)可以生產(chǎn)出僅靠普通 CVD 技術(shù)無法產(chǎn)生的獨特化合物和薄膜，并生產(chǎn)出具有極高耐溶劑性和耐腐蝕性以及化學(xué)和熱穩(wěn)定性的薄膜，廣泛用于半導(dǎo)體工業(yè)制造集成電路，在光伏、摩擦學(xué)、光學(xué)和生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域也有許多應(yīng)用。

在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域，通過生產(chǎn)純度極高的致密惰性涂層，PECVD 在醫(yī)療植入物研究方面也具重要應(yīng)用作用。
東莞市人民醫(yī)院始建于1888年，是一家集醫(yī)療、教學(xué)、科研及預(yù)防保健為一體的大型綜合性三級甲等醫(yī)院。2021年3月，醫(yī)院入選廣東省高水平醫(yī)院重點建設(shè)醫(yī)院。為加大生物醫(yī)學(xué)研究力度，東莞市人民醫(yī)院轉(zhuǎn)化醫(yī)學(xué)研究中心通過公開競標(biāo)和綜合評估，選定我司為其研究項目提供定制PECVD系統(tǒng)。
該PECVD系統(tǒng)由RF射頻系統(tǒng)、氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng)、襯底控溫系統(tǒng)、真空系統(tǒng)組成，采用集中總線控制技術(shù)的諾巴迪智能人機(jī)交互觸控系統(tǒng)，確保實驗過程的便捷、直觀、高效。

通過我司售后技術(shù)人員的培訓(xùn)交接，得到了現(xiàn)場驗收及操作人員的充分肯定，設(shè)備順利通過驗收。


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