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快速退火爐介紹

發(fā)布時(shí)間：2017-11-15  瀏覽次數(shù)：5929

概述：
    快速退火爐是以碘鎢燈管為發(fā)熱元件，升溫速度快，采用S型熱電偶測溫并采用模糊PID控制，具有很高的控溫精度〈±5℃〉，快速退火爐具有真空裝置，可在多種氣氛下工作。僅僅是退火爐的一個(gè)小品種。
技術(shù)參數(shù)：
1、可在真空，惰性氣體(N2,Ar)環(huán)境下進(jìn)行快速熱處理； 
2、樣品直徑：4英寸； 
3、最高溫度：1000℃； 
4、升溫速度：100℃/Second； 
5、降溫速度：80℃/Second； 
6、溫度控制準(zhǔn)確度：±1%； 
7、最低真空度≤5×10-3 Torr； 
8、功率：紅外鹵素鎢燈，1,250 W/ea ×11 lamps； 
9、尺寸：760mm(W) × 400mm(D) × 400mm(H)；
主要特點(diǎn)：
1, 腔體Chamber：腔體為鍍金工藝，金層有助于熱反射均勻；腔體為方形，帶有真空和氣體端口。 
2，基底固定器 Substrate Holder：4英寸，石英。 
3, 加熱器 Heater：11支紅外鹵素鎢燈，水冷。 
4, 真空泵 Pump：分子渦輪泵(TMP)，~ 10-6 Torr；旋葉式真空泵，~ 5*10-3 Torr； 
5, 氣體模塊(包括質(zhì)量流量控制器，MFC) Gas Module：氣體流量可控；316不銹鋼管，自動(dòng)焊接、電解拋光工藝，VCR接口，液氦檢漏達(dá)到10E-8 Torr. L/sec.水平。 
6, 控制模塊 Control Module：菜單可編輯，多程序快速溫度控制及處理。
維修注意事項(xiàng)：
1. 爐子首次使用或長時(shí)間不用后，要在120℃左右烘烤1小時(shí)，在300℃左右烘烤2小時(shí)后使用，以免造成爐膛開裂。爐溫盡量不要超過額定溫度，以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬，保持爐內(nèi)的清潔。
2. 爐膛若采用石英管，當(dāng)溫度高于1000℃時(shí)，石英管的高溫部分會(huì)出現(xiàn)不透明現(xiàn)象，這叫失透（又叫析晶性）是連熔石英管的一個(gè)固有缺陷，屬正?，F(xiàn)象。
3. 冷爐使用時(shí)，由于爐膛是冷的，須大量吸熱，所以低溫段升溫速率不易過快，各溫度段的升
溫速率差別不易太大，設(shè)置升溫速率時(shí)應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì)，以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象，污染爐管。
4. 定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好，應(yīng)特別注意加熱元件的各連接點(diǎn)的連接是否緊固。
5. 爐子使用過一段時(shí)間后，若真空度降低，可分別更換不銹鋼法蘭盤之間的耐溫硅膠圈或重新安裝不銹鋼法蘭盤或更換修理真空系統(tǒng)，以提高系統(tǒng)的整體真空度。
6. 爐子在工作過程中，一般在300℃左右若控制偏差還不能消除，出現(xiàn)溫度顯示值與程序給定值不符或擺動(dòng)過大，檢查參數(shù)“M5、P、t”設(shè)置是否準(zhǔn)確。
7. 此爐適用于下列工作條件：
（1）環(huán)境溫度在-10～75℃之間。
（2）周圍環(huán)境的相對濕度不超過85%。
（3）爐子周圍沒有導(dǎo)電塵埃，爆炸性氣體及嚴(yán)重破壞金屬和絕緣材料的腐蝕性氣體。
（4）沒有明顯的傾斜﹑振動(dòng)和顛簸。
應(yīng)用領(lǐng)域： 
快速熱退火 
快速熱氧化 
快速熱氮化
硅化
擴(kuò)散
化合物半導(dǎo)體退火 
離子注入后退火
電極合金化 
晶向化和堅(jiān)化