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立式HVPE單晶生長系統(tǒng)

發(fā)布時(shí)間:2024-06-13  瀏覽次數(shù):253

設(shè)備簡介:

 立式淬火管式爐:優(yōu)質(zhì)保溫材料由真空成形纖維板構(gòu)成,具有低儲(chǔ)熱和低導(dǎo)熱性能,從而能降低設(shè)備的能耗和縮短加熱時(shí)間。通過配置不同的充氣套件可在不易燃或易燃保護(hù)或反應(yīng)氣體條件下或在真空中運(yùn)行。電動(dòng)旋轉(zhuǎn)脫扣結(jié)構(gòu),淬火更安全,結(jié)構(gòu)更穩(wěn)定。













立式淬火爐由以下幾部分組成。

▲燒結(jié)系統(tǒng);

▲電控系統(tǒng);

▲脫扣系統(tǒng);

▲淬火系統(tǒng);

配置詳情



   設(shè)備特點(diǎn):

    1、MoSi2加熱元件懸吊安裝,易于更換;
  2、真空陶瓷纖維板構(gòu)成保溫材料;
  3、用于垂直式運(yùn)行的RHTV 型管式爐,帶支架;
  4、B型熱電偶;
  5、調(diào)功單元配備低壓變壓器和可控硅調(diào)節(jié)器;
  6、溫度選擇限制器,用于對(duì)爐子和貨品進(jìn)行過溫保護(hù);
  7、帶控制器的開關(guān)設(shè)備與窯爐分開,安裝于單獨(dú)的立式柜中;
  8、電動(dòng)旋轉(zhuǎn)脫扣結(jié)構(gòu),淬火更安全,結(jié)構(gòu)更穩(wěn)定。

設(shè)備名稱

立式HVPE單晶生長系統(tǒng)

規(guī)格型號(hào)

NBD-LT1700-60TI-200

Tmax

1650℃

供電電源

單相220V 50HZ

額定功率

5KW

加熱溫區(qū)尺寸

Φ220*210mm

 進(jìn)出氣系統(tǒng)

Φ6.35內(nèi)外拋光Ba級(jí)不銹鋼管     

爐管材質(zhì)

剛玉管Φ60*1000mm
控溫精度

±1

測溫元件類型

B型熱電偶,Φ8*150mm

爐管材質(zhì)

剛玉管Φ60*1000mm

淬火罐內(nèi)尺寸

Φ130*220mm
升溫速率

1℃/H-20℃/Min

進(jìn)出氣系統(tǒng)

帶電磁閥控制Φ6.35內(nèi)外拋光Ba級(jí)不銹鋼管   

爐體尺寸

1075*高1780*深610mm

控制系統(tǒng)

 1、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置:動(dòng)態(tài)顯示設(shè)置曲線,設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線,每條工藝曲線可自由設(shè)置;

 2、可預(yù)約燒結(jié),實(shí)現(xiàn)無人值守?zé)Y(jié)工藝曲線燒結(jié);

 3、實(shí)時(shí)顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù),并可導(dǎo)出實(shí)現(xiàn)無紙記錄;

 4、具有實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程操控,實(shí)時(shí)觀測設(shè)備狀態(tài);

 5、溫度校正:主控溫度和試樣溫度的差值,燒結(jié)全程進(jìn)行非線性修正

溫度精度

±1℃

加熱元件

高純硅鉬棒

壓力測量與監(jiān)控

采用機(jī)械壓力表,表外殼為氣密型結(jié)構(gòu),能有效保護(hù)內(nèi)部機(jī)件免受環(huán)境影響和雜物侵入,同時(shí)具有較強(qiáng)的耐腐蝕和耐高溫的能力。

供氣系統(tǒng)

    

采用浮子流量計(jì)控制氣體流速,與設(shè)備一體化,且出廠前已進(jìn)行漏氣測試工作。

電磁脫扣觀察窗


達(dá)到設(shè)定溫度后,即可根據(jù)需要進(jìn)行脫扣,通過觀察口可以十分清楚的看到整個(gè)脫扣過程;


凈重

260kg

設(shè)備使用注意事項(xiàng)

   1、設(shè)備爐膛溫度≥300℃時(shí),禁止打開爐膛,避免受到傷害;

   2、設(shè)備使用時(shí),爐管內(nèi)壓力不得超過0.125MPa(Absolute壓力),以防止壓力過大造成設(shè)備損壞;

   3、真空下使用時(shí),設(shè)備使用溫度不得超過800℃。

   4、供氣鋼瓶內(nèi)部氣壓較高,向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上須安裝減壓閥,建議在選購試驗(yàn)用小壓力減壓閥,減壓閥量程為0.01MPa-0.15MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全。

   5、當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓 相當(dāng),保持在常壓狀態(tài);

   6、高純石英管的長時(shí)間使用溫度≦1100℃

   7、加熱的實(shí)驗(yàn)時(shí),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),Absolute壓力表讀數(shù)不要大于0.15MPa,須立刻打開排氣端閥門,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)。

服務(wù)支持

一年有限保修,提供終身支持(保修范圍內(nèi)不包括易耗部件,例如處理管和O形圈,請(qǐng)?jiān)谙旅娴南嚓P(guān)產(chǎn)品處訂購更換件。)

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