發(fā)布時間:2021-08-18 瀏覽次數(shù):2301
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設(shè)備簡介:
適用于布里奇曼方法(坩堝下降法),在真空、保護(hù)氣氛或氧化氣氛下的晶體生長,可預(yù)存15組工藝曲線,工藝曲線包括溫度,氣體流量,晶體進(jìn)給速度(長晶速率),任意切換;長晶結(jié)束,報警提示,生成實驗報告并導(dǎo)出(包含但不限于溫度,氣體流量,進(jìn)給速率等)。
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配置詳情
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項目 |
設(shè)備技術(shù)指標(biāo)選擇 |
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設(shè)備型號 |
NBD-BDML1200-60T2 |
加熱系統(tǒng)
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晶體生長環(huán)境選擇 |
氧化氣氛/保護(hù)氣氛/真空狀態(tài) |
長晶溫區(qū)選擇 |
單溫區(qū)200mm /300mm/400mm 雙溫100+100/200+200mm /300+300mm 三溫:200+200+200mm |
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反應(yīng)腔尺寸選選擇 |
Φ50/Φ60/Φ80/Φ100(更多選擇聯(lián)系客服) |
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主控最高工作溫度 |
1150℃/1650℃ |
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控溫精度 |
300~1150±0.5℃ |
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主控爐膛材料 |
高純多晶纖維復(fù)合耐火保溫層 |
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主控爐膛模式 |
環(huán)形加熱整體密閉 |
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密封方式 |
水冷不銹鋼密封法蘭 |
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提拉系統(tǒng)
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長晶模式選擇 |
坩堝下降法 /坩堝平移法 |
物料裝載模式 |
上吊裝下推進(jìn)模式/下裝載模式 |
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晶體運(yùn)動方式選擇 |
坩堝只移動/ 坩堝移動并旋轉(zhuǎn) |
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結(jié)構(gòu) |
雙層滑軌結(jié)構(gòu),C7大力距滾珠絲杠,SPY鋁托硬光軸直線導(dǎo)軌 |
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長晶進(jìn)給系統(tǒng) |
伺服進(jìn)給高精度運(yùn)行平穩(wěn),大扭矩諧波減速進(jìn)給速度30μm/h~30000μm/h可調(diào),物料下推進(jìn)運(yùn)動模式,無旋轉(zhuǎn) |
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裝料密封方式 |
電動密封法蘭 |
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裝料密封電機(jī) |
57CM23閉環(huán)步進(jìn)電機(jī),平穩(wěn)高速 |
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供氣系統(tǒng)
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流量計選擇 |
1/2/3路質(zhì)子子流量計100sccm 200sccm ,500sccm |
氣路管芯 |
專用不銹鋼氣體管道(1/4") |
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調(diào)節(jié)閥類型 |
手動調(diào)節(jié)閥 |
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管道常態(tài) |
常閉 |
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測量精度 |
±1.0%F.S |
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線性度 |
±0.5%F.S |
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重復(fù)精度 |
±0.2%F.S |
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壓力范圍 |
-0.1-0.15 MPa |
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響應(yīng)時間 |
2S |
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工作環(huán)境溫度 |
(15~50℃) |
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精度保證溫度 |
(15~35℃) |
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真空系統(tǒng)
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真空類型選擇 |
NBD-4C真空泵/ NBD-103(A) 分子泵系統(tǒng) |
真空計類型 |
數(shù)字真空計/模擬真空計 |
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系統(tǒng)真空 |
≤5pa /2.8*10-3pa |
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操控系統(tǒng)
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操控模式 |
1、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置:動態(tài)顯示設(shè)置曲線,設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線,每條工藝曲線可自由設(shè)置; |
長晶工藝設(shè)置 |
可預(yù)存15組工藝曲線,工藝曲線包括溫度,氣體流量,晶體進(jìn)給速度(長晶速率),任意調(diào)用;長晶結(jié)束,報警提示,并生成實驗報告導(dǎo)出,()包含但不限于溫度,氣體流量,進(jìn)給速率等) |
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溫度校正 |
主控控溫溫度和試樣溫度的差值,系統(tǒng)全程進(jìn)行非線性修正(詢問客戶長晶溫度點,可做特別效驗) |
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實現(xiàn)功能 |
可適用于布里奇曼法在真空或氣氛或空氣狀態(tài)生長的各類晶體(坩堝下降法) |
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系統(tǒng)保護(hù) |
超溫報警,過流保護(hù),斷偶提示 |
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隨機(jī)產(chǎn)品配置 |
反應(yīng)腔1根 ,鎳鉻鋁吊絲5米 ,說明書1份;隨機(jī)工具等。 |
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服務(wù)項目 |
運(yùn)輸及保險費,包裝費,安裝及技術(shù)服務(wù)費; 提供12個月質(zhì)保,觸控系統(tǒng)24個月,終身保修 |
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