中南大學(xué)程老師為了處理碳酸鈰材料，在我公司定制非標(biāo)準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)PECVD，設(shè)備組裝完畢后，進(jìn)行空載試機(jī)，為老師及學(xué)生講解設(shè)備功能及使用方法，測(cè)試各項(xiàng)功能均正常后進(jìn)行第一次實(shí)驗(yàn)。

  裝載大約25克碳酸鈰，由于原料含有較大的水分，開始抽真空明顯感覺(jué)抽真空速率及其緩慢，真空泵運(yùn)行將近一個(gè)小時(shí)，才能抽至100pa左右，在未通氧氣的情況下，一旦射頻開啟，真空度會(huì)迅速升高，且爐管內(nèi)部輝光為暗淡的紫色，且啟輝不易穩(wěn)定，需要較長(zhǎng)的時(shí)間，通入氧氣后會(huì)在爐管右端首先反應(yīng)比較激烈，會(huì)出現(xiàn)爆閃的紅光，隨著反應(yīng)過(guò)程的推進(jìn)，輝光會(huì)逐漸穩(wěn)定且向爐管左側(cè)蔓延，直至充滿整個(gè)爐管，且輝光顏色會(huì)逐漸由暗紫色變?yōu)榈仙罱K轉(zhuǎn)為淡粉色，此后顏色就不再發(fā)生變化，真空度也會(huì)維持在一個(gè)很低的水平，一般在20pa左右，反應(yīng)完成后物料顏色由之前的純白色變?yōu)槊S色。

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