設(shè)備簡介：
  均溫氧化擴(kuò)散爐應(yīng)用于半導(dǎo)體器件、分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽能電池及大規(guī)模集成電路制造等領(lǐng)域?qū)M(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝，可用于2-8英寸工藝尺寸。

設(shè)備特點(diǎn)：

 1.溫場均勻，恒溫區(qū)長度及精度：300～1250mm  800~1200℃±1℃

 2.具有強(qiáng)大的軟件功能，NBD-101EP嵌入式操作系統(tǒng)，用戶可以方便地修改工藝控制參數(shù)，并可隨時(shí)顯示各種工藝狀態(tài)；配有故障自診斷軟件； 
 3.程序可以實(shí)現(xiàn)手/自動(dòng)工作，在停電或中途停機(jī)后，再次啟動(dòng)可以根據(jù)工藝手動(dòng)升溫，節(jié)省工藝時(shí)間； 
 4.具有多種工藝管路，可供用戶方便選擇； 
 5.冷端檢測環(huán)境溫度進(jìn)行溫度補(bǔ)償，避免環(huán)境溫度變化，對爐膛溫度產(chǎn)生影響，避免層間干擾； 

 6.可存儲多組PID參數(shù)供系統(tǒng)運(yùn)行調(diào)用功能，具有多點(diǎn)溫度補(bǔ)償
 7.氣體流量采用數(shù)字化精確控制，采用模擬信號閉環(huán)控制，強(qiáng)弱電分開，各種數(shù)據(jù)交互采用標(biāo)準(zhǔn)總線，提高抗干擾能力，保證數(shù)據(jù)安全；氣體打開具有緩啟動(dòng)功能； 
 8.具有多種報(bào)警功能及安全保護(hù)功能；
 9.恒溫區(qū)自動(dòng)調(diào)整，串級控制，可準(zhǔn)確控制反應(yīng)管的實(shí)際工藝溫度； 
 10.壓力自動(dòng)調(diào)整技術(shù)，將壓力參數(shù)引入晶體硅氧化工藝，有效減小了尾部排風(fēng)對工藝的干擾，減小由排風(fēng)引起的工藝波動(dòng)。

型號

可配工藝管外徑

爐管外徑152mm   適用于3＂；爐管外徑252mm   適用于6＂；

爐管外徑300mm   適用于8＂

溫度控制范圍

300~1150 ℃

恒溫區(qū)長度及精度

300～1250mm（依客戶要求定）  300~800 ℃±1.5℃, 800~1100 ℃±1℃

可控升降溫速率

升溫速率：≦15℃/min  降溫速率≦5℃/min

加熱區(qū)個(gè)數(shù)

3區(qū)，4區(qū)，5區(qū)，6區(qū)（依客戶要求定）

送料方式

手動(dòng)送料

冷卻系統(tǒng)

水冷2-4Kgf/cm2，8L/min；＋上接排風(fēng)冷≈25m3/min；

軸向溫場分布

徑向溫場分布

控制系統(tǒng)

1.燒結(jié)工藝曲線設(shè)置：動(dòng)態(tài)顯示設(shè)置曲線，設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設(shè)置；

加熱腔體

采用優(yōu)質(zhì)加熱絲：KANTHAL及HRE

絕熱材料：晶體纖維等

絕緣子：高純剛玉，間距依據(jù)溫場調(diào)節(jié)

端口過渡環(huán)：氧化鋁纖維真空成型。

溫區(qū)：3段、4段、5段、6段

真空密封系統(tǒng)

真空度：≤10Pa（機(jī)械泵）

供氣系統(tǒng)

采用質(zhì)子流量計(jì)控制氣體流速，與設(shè)備集成為一體；

可選配項(xiàng)目

1、出料口排毒氣柜；

2、凈化出料臺；

3、自動(dòng)石英漿推拉舟機(jī)構(gòu)

設(shè)備使用注意事項(xiàng)

1、裝取樣片須帶石棉手套，使用石英器件小心打碎；

2、選擇合適的石英舟，取出清潔好的石英托板和石英拉鉤；

3、安裝樣片插入到石英舟的槽內(nèi)，用石英拉鉤將石英舟推入爐管到恒溫區(qū)；

4、爐管內(nèi)壓力不得超過0.15MPa（Absolute壓力），以防止壓力過大引起危險(xiǎn)；

5、高真空下使用時(shí)），設(shè)備使用溫度不得超過1000℃；

服務(wù)支持

一年有限保修，提供終身支持（保修范圍內(nèi)不包括易耗部件，例如爐管和密封圈等）