序   號 

主要配置

NBD-103(A)系統(tǒng)

NBD-103(B)系統(tǒng)

1

機(jī)械泵

抽氣速率：4L/S

電機(jī)功率：400W

極限壓強(qiáng)6X10-2Pa

抽氣速率：6L/S

電機(jī)功率：500W

極限壓強(qiáng)6X10-2Pa

2

分子泵參數(shù)

抽氣速率：100L/S

極限壓強(qiáng)：6X10-6Pa

啟動時間：＜2min

額定轉(zhuǎn)速：43000轉(zhuǎn)/分

冷卻方式:：風(fēng)冷/水冷

抽氣速率：600L/S

極限壓強(qiáng)：6X10-6Pa

啟動時間：＜2min

額定轉(zhuǎn)速：27000轉(zhuǎn)/分

冷卻方式:：風(fēng)冷/水冷

3

分子泵控制電源

電壓：200~240V

輸出功率：250W

加速時間：3分鐘

輸出頻率：高速704Hz±10%

      低速430 Hz±10%

電壓：380~410V

輸出功率：400W

加速時間：3分鐘

輸出頻率：高速704Hz±10%

      低速430 Hz±10%

4

復(fù)合真空計(jì)

工作電電壓：

220V  50~60HZ

電阻規(guī)阻值：約85 歐

自動保護(hù)（電離）>10Pa

電離規(guī)管測量范圍：100~1010-5Pa

電阻規(guī)管測量范圍：105 ～10-1 pa

工作電電壓：

220V  50~60HZ

電阻規(guī)阻值：約85 歐

自動保護(hù)（電離）>10Pa

電離規(guī)管測量范圍：100~1010-5Pa

電阻規(guī)管測量范圍：

105 ～10-1 pa

5

高真空手動隔斷閥

采用氟膠圈密封，快卸法蘭接口，漏率達(dá)5X10-9 Pam3/s

采用氟膠圈密封，快卸法蘭接口，

漏率達(dá)5X10-9 Pam3/s

6

103(B)真空系統(tǒng)連接管路

采用全不銹鋼，電拋光制作，零件焊接漏率優(yōu)于 1×10-9Pa.m3/s

采用全不銹鋼，電拋光制作，零件焊接漏率優(yōu)于 1×10-9Pa.m3/s