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兩路質(zhì)量氣體配比器

發(fā)布時(shí)間:2017-11-16  瀏覽次數(shù):4373

設(shè)備簡(jiǎn)介:

NBD系列氣體混合配比器適用于低壓小流量、多種氣體的混合及連續(xù)供氣。氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在控制面板上直觀可讀,操作簡(jiǎn)便,流量控制精確,可有效地控制氣體消耗??梢愿苁綘t等設(shè)備配合使用,做CVD、氣氛燒結(jié)等研究實(shí)驗(yàn)。






  

 

 

 

 

 

             配置詳情

 

1. 外形美觀,實(shí)用性強(qiáng),操作簡(jiǎn)便;

2. 采用耐腐拋光不銹鋼管,或耐腐聚四氟乙烯管;

3. 可靠的混氣裝置,可保證氣體混合的均勻性;

4. 均采用標(biāo)準(zhǔn)尺寸接頭,確保其通用性;

5. 多路氣體混合可咨詢溝通定制;

產(chǎn)品型號(hào)

NBD-2Z

NBD-3Z

NBD-4Z

流量計(jì)類型

質(zhì)子流量控制器

管道示意圖

 

采用潔凈拋光的氣路專用耐腐不銹鋼管或耐腐蝕抗老化的聚四氟乙烯氣管(可選)

進(jìn)氣接口數(shù)量

(多路可定制)

2

3

4

接口尺寸

1/4”雙卡套接頭

測(cè)量精度

±1.0%F.S

流量計(jì)測(cè)量范圍

50、100、200、500Sccm可選

范圍

0.05-0.4MPa

凈重

35KG

設(shè)備使用注意事項(xiàng)

1.確保管道內(nèi)壓力<0.15MPa;

2.氣柜連接好氣瓶后要用肥皂水進(jìn)行檢漏測(cè)試;

服務(wù)支持

1年質(zhì)保,提供終身支持(保修范圍內(nèi)不包括易耗部件)。 


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