設(shè)備簡介：

 三溫區(qū)管式爐為滿足各類CVD工藝的要求，我們將多個溫區(qū)的控制儀表全部融合到了智能控制系統(tǒng)里邊，您只需通過輕輕點擊觸摸屏即可完成所有的參數(shù)設(shè)定。在滿足不同溫區(qū)梯度控制的同時，還可將多個溫區(qū)設(shè)定為同一溫度點，作為加長的單溫區(qū)使用。它延續(xù)了開啟式管式爐的經(jīng)典設(shè)計，美觀與實用同在！

設(shè)備特點

1、雙層鋼結(jié)構(gòu)；

2、高純度Al2O3纖維耐火保溫材料，最大節(jié)約能源；

3、耐火陶瓷上的高純度氧化鋁涂層可延長使用壽命；

4、氧化鋁管塞可幫助您在管內(nèi)建立自定義的溫度梯度。

產(chǎn)品型號

NBD-O1200-50T3GF

NBD-O1200-60T3GF

NBD-O1200-80T3GF

NBD-O1200-100T3GF

電氣規(guī)格

AC380V    2KW+4KW+2KW

可達(dá)溫度

1200 ℃ （<1小時）

長期使用溫度范圍

300~1150℃

加熱速率

≤20℃/分鐘

加熱區(qū)長度

200mm+400mm+200mm（三溫三控：每個溫區(qū)均可獨(dú)立運(yùn)行）

爐管尺寸

Φ50*1400mm

Φ60*1400mm

Φ80*1400mm

Φ100*1400mm

控制系統(tǒng)

1.可預(yù)存15條溫度曲線，避免不同的實驗工藝重復(fù)設(shè)置帶來的麻煩；

2.實驗過程更加直觀，操作更加便捷；

3.NBD-101E嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入，智能式人機(jī)對話模式，非線性式樣溫度修正；

4.具有超溫報警、斷偶提示、漏電保護(hù)等功能。

溫度精度

+/- 1 ℃

加熱元件

Mo摻雜的Fe-Cr-Al合金

密封系統(tǒng)

真空度：≤10Pa（機(jī)械泵）

壓力測量與監(jiān)控

采用機(jī)械壓力表，表外殼為氣密型結(jié)構(gòu)，能有效保護(hù)內(nèi)部機(jī)件免受環(huán)境影響和雜物侵入，同時具有較強(qiáng)的耐腐蝕和耐高溫的能力。

供氣系統(tǒng)

采用浮子流量計控制氣體流速，與設(shè)備一體化，方便控制，且出廠前已進(jìn)行漏氣測試工作。

凈重

90KG

設(shè)備使用注意事項

1、設(shè)備爐膛溫度≥300℃時，禁止打開爐膛，避免受到傷害；

2、設(shè)備使用時，爐管內(nèi)壓力不得超過0.125MPa（absolute壓力），以防止壓力過大造成設(shè)備損壞；

3、真空下使用時，設(shè)備使用溫度不得超過800℃。

   4、供氣鋼瓶內(nèi)部氣壓較高，向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上要安裝減壓閥，建議在選購試驗用小壓力減壓閥，減壓閥量程為0.01MPa-0.15MPa,使用時會更加精確安全。

   5、當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓 相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)；

   6、高純石英管的長時間使用溫度≦1100℃

   7、加熱的實驗時，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，absolute壓力表讀數(shù)不要大于0.15MPa，應(yīng)立刻打開排氣端閥門，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）

服務(wù)支持

1年質(zhì)保，提供終身支持（保修范圍內(nèi)不包括易耗部件，例如爐管和O形圈等）